Gå till sökfältet
Gå till sidans huvudinnehåll
Gå till tillgänglighetsredogörelsen
Forskning.fi
Menu
Suomeksi
På svenska
In English
Ingångssida
Sökning
Vetenskaps- och innovationspolitik
Vetenskaps- och forskningsnyheter
På svenska
- 340 results
Publikationer
340
Utlysningar
0
Beviljade finansiering
0
Personer
0
Data
0
Infrastrukturer
0
Organisationer
0
Projekt
0
Publikationer -
340
sökresultat
Gå till sökresultaten
Visa som bild
Begränsa sökning
Resultaten visas 1 - 10 / 340
10
50
100
resultat / per sida
Vilka
publikations
uppgifter finns i tjänsten?
Publikationens namn
Upphovspersoner
Publikationskanal
År
ZrO
2
and HfO
2
Thin Films from
Cyclopentadienyl
Precursors
by Atomic Layer Deposition
Referentgranskad
Niinistö, Jaakko; Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri
-
2003
Cyclopentadienyl
-type
precursors
for atomic layer deposition of thin films
Referentgranskad
Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri
University of Helsinki
2004
Processing of Y
2
O
3
Thin Films by Atomic Layer Deposition from
Cyclopentadienyl
-type Compounds and Water as
Precursors
Referentgranskad
Niinistö, Jaakko; Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri
Chemistry of Materials
2004
Organometallic
precursors
for atomic layer deposition
Referentgranskad
Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri
-
2005
Advanced
cyclopentadienyl
precursors
for atomic layer deposition of ZrO2 thin films
Referentgranskad
Niinistö, Jaakko; Kukli, Kaupo; Tamm, Aile; Putkonen, Matti; Dezelah IV, Charles L.; Niinistö, Lauri...
Journal of Materials Chemistry
2008
Controlled growth of HfO2 thin films by atomic layer deposition from
cyclopentadienyl
-type precursor and water
Referentgranskad
Niinistö, Jaakko; Putkonen, Matti; Niinistö, Lauri; Stoll, Sarah; Kukli, Kaupo; Sajavaara, Timo; Rit...
Journal of Materials Chemistry
2005
Cyclopentadienyl
Precursors
for the Atomic Layer Deposition of Erbium Oxide Thin Films
Referentgranskad
DOI
10.1002/cvde.201407116
Blanquart, Timothee; Kaipio, Mikko; Niinistö, Jaakko; Gavagnin, Marco; Longo, Valentino; Blanquart, ...
Chemical Vapor Deposition
2014
Cycloheptatrienyl-
Cyclopentadienyl
Heteroleptic
Precursors
for Atomic Layer Deposition of Group 4 Oxide Thin Films
Referentgranskad
DOI
10.1021/cm2030735
Niinisto, Jaakko; Hatanpää, Timo Tapio; Kariniemi, Maarit; Mäntymäki, Miia; Costelle, Leila; Mizohat...
Chemistry of Materials
2012
Atomic layer deposition of HfO2 thin films exploiting novel
cyclopentadienyl
precursors
at high temperatures
Referentgranskad
Niinistö, J.; Putkonen, M.; Niinistö, Lauri; Song, F.; Williams, P.; Heys, P.N.; Odedra, R.
Chemistry of Materials
2007
MHD characteristics of ELMs and their
precursors
Maraschek, M.; Gunter, S.; Kass, T.; Saarelma, S.; Zehrfeld, H.; Zohm, H.
-
1998
ZrO
2
and HfO
2
Thin Films from
Cyclopentadienyl
Precursors
by Atomic Layer Deposition
Referentgranskad
2003
Cyclopentadienyl
-type
precursors
for atomic layer deposition of thin films
Referentgranskad
2004
Processing of Y
2
O
3
Thin Films by Atomic Layer Deposition from
Cyclopentadienyl
-type Compounds and Water as
Precursors
Referentgranskad
2004
Organometallic
precursors
for atomic layer deposition
Referentgranskad
2005
Advanced
cyclopentadienyl
precursors
for atomic layer deposition of ZrO2 thin films
Referentgranskad
2008
Controlled growth of HfO2 thin films by atomic layer deposition from
cyclopentadienyl
-type precursor and water
Referentgranskad
2005
Cyclopentadienyl
Precursors
for the Atomic Layer Deposition of Erbium Oxide Thin Films
Referentgranskad
DOI
10.1002/cvde.201407116
2014
Cycloheptatrienyl-
Cyclopentadienyl
Heteroleptic
Precursors
for Atomic Layer Deposition of Group 4 Oxide Thin Films
Referentgranskad
DOI
10.1021/cm2030735
2012
Atomic layer deposition of HfO2 thin films exploiting novel
cyclopentadienyl
precursors
at high temperatures
Referentgranskad
2007
MHD characteristics of ELMs and their
precursors
1998
Föregående
1
2
3
4
5
Nästa
Resultaten visas 1 - 10 / 340
Sida 1
Sort
